第93章 力排众议(上)

回到1997造芯片 牧狼童 1105 字 2022-10-07

“光源波长已经定死了,所以我们剩下能做的,就是提高基础工艺水平,以及提高数值孔径。”

听到这些话,台下的研究生们脸色才算是好看了一些,但如果只是这点理论的话,也完全不足以支撑整个改进工艺,于是便有人忍不住说道:“那我们怎么提高数值孔径呢?”

“数值孔径的提升有两个办法,那就是改良透镜组,提升它的外镜直径,或者是减小透镜曲率半径,两者都是比较好的选择。”王向中沉吟道。

“改良透镜组……”台下一名戴眼镜的ie工程师(dtrial engeer,工程工艺工程师)终于忍不住了,似是有些不屑地提问道:“外镜直径说提升就能提升?透镜难道可以手工打磨?你简直是在胡说八道,我真是听不下去了。”

“你是不是以为自己能比康尼研发部还聪明?他们做不到的事情你就能做到,你以为你是谁?”他继续嘲讽道,“你知道镜头玻璃的技术指标吗?先不说咱们能不能把镜头造出来,你们现在难道已经有了设计图纸吗?”

听到这话,不少人也是脸色一变,看向王向中的眼神也不太信任起来。

“这几台康尼光刻机的基础工艺因子系数已经调教得很好了,基本接近于03,想通过提升对比度方式的工艺提升很有限。而且你擅自改动透镜组参数,势必也要调整光源功率,到时候又会引发更多的问题。”另一名ie工程师说道,他倒没有半分鄙视王向中的意思,不过那双眼睛里满满的都是担忧之色。

光刻机是一个整体的系统,如果改动了其中一个参数,那便是牵一发而动全身的事情,几乎要将其它相关联的所有参数改动个遍,而这也是改进光刻机工艺比较难的原因之一。

“除非你可以搞到国外的新透镜组零件,否则一切免谈!”戴眼镜的ie工程师摆了摆手,便也不再发言。

听言,王向中也是深深皱了皱眉头。

倒不是因为那两人质疑声有什么问题,恰恰相反,他们的疑问都是有根有据的,但王向中怎么又会考虑不到这些问题呢?

但是要这么轮番提问下去,这个大会到明天都开不完。

“大家稍安毋躁,有关于这些问题的解决方案,我都已经做过一番推演了。你们所提到的问题,其实都不是问题。”王向中突然将嗓门提高了几度。